LK-PM17A · 等离子清洗设备
大型真空等离子设备
大腔体批量真空等离子处理设备，17层平板电极与中通水冷电极结构，适合宽幅双面材料处理，具备上下料车与变频节能设计。
- 高性能等离子发生器，激发稳定
- 特殊电极结构，适合宽幅双面材料
- 中通水冷电极，过程温度可控
- 配备上下料车，上下料便捷
- 变频节能，自动维持真空度
技术参数
| 机台整机规格 | 2000(W)×1500(D)×1960(H)mm |
| 真空室规格 | 1030(W)×1100(D)×1100(H)mm |
| 电极板规格 | 17层平板电极（944(W)×790(D)mm） |
| 控制系统 | 触摸屏+PLC控制 |
| 真空测定系统 | 0-10Torr美国MKS电容式薄膜规真空计 |
| 气体计量系统 | 精确质量流量控制计MFC |
| 气体路数 | 5路进气，1路放空 |
| 等离子发生器 | 10KW，40KHz（可选13.56MHz） |
| 工作气体 | 2-5路可选：Ar、N₂、H₂、O₂、CF₄ |
* 技术参数以原始产品资料为准，标注"参数待确认"的条目请在咨询时与工程师确认。
适用领域
印制线路板半导体IC硅胶/塑胶/聚合体
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