LK-RTR2000L-W800H · 等离子清洗设备
RTR卷对卷真空等离子设备
主要用于处理100～800mm宽幅材料，结构简单可靠，配备张力和纠偏控制系统，上下料方便，可用于刻蚀工艺的真空卷对卷设备。
- 真空室内置张力控制系统，处理平稳
- 特殊电极结构，适合宽幅双面材料
- 中通水冷电极，过程温度可控
- 独特卷曲设计，穿料便捷
- 变频节能
技术参数
| 处理宽幅 | 100～800mm（垂直电极） |
| 真空室规格 | 2000L（可定制） |
| 控制系统 | 触摸屏+PLC控制 |
| 真空测定系统 | 皮拉尼真空计 |
| 气体计量系统 | 精确质量流量控制计MFC |
| 气体路数 | 标配2路，可扩展至5路 |
| 等离子发生器 | 20KW，40KHz（可选13.56MHz） |
| 工作气体 | 2-5路可选：Ar、N₂、H₂、O₂、CF₄ |
* 技术参数以原始产品资料为准，标注"参数待确认"的条目请在咨询时与工程师确认。
适用领域
PE/PET薄膜PI聚酰亚胺薄膜FPC柔性线路板
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